установка ионного распыления с микропроцессорным управлением

mikroprocesorinis jonų dulkintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microprocessor automated ion sputterer vok. mikroprozessorgesteuerte Sputteranlage, f rus. установка ионного распыления с микропроцессорным управлением, f pranc. installation de pulvérisation ionique commandée par microprocesseur, f